BaxSr(1-x)TiO3多层膜椭偏光谱研究

• 作者: C.L.Choy C.L.Mak H.L.W.Chen S.U.Adikary 张曰理 莫党
• 来源期刊: 红外与毫米波学报
• 学科: 工学
• 关键词: BaxSr(1-x)TiO3,多层膜,椭偏光谱,光学常数
• 年，卷（期）: 2003,（1）
• 页码范围: 13-17
• 页数: 5页
• 分类号: TN2
• 字数: 2951字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9014.2003.01.003

摘要

用溶胶-凝胶技术在Si(100)衬底上制备了单层和渐变型多层的BaxSr(1-x)TiO3薄膜,其膜层组分分别为:Ba0.7Sr0.3TiO3, Ba0.8Sr0.2TiO3, Ba0.9Sr0.1TiO3, BaTiO3. 对生长制备出的多层BaxSr(1-x)TiO3薄膜进行了变角度椭偏光谱测量. 通过椭偏光谱解谱分析研究,首次得到了BaxSr(1-x)TiO3多层膜结构不同膜层的膜厚和光学常数. 其结果显示:椭偏光谱分析得到的不同膜层的膜厚与卢瑟福背向散射测量得到的结果基本相符;渐变型多层膜中BaTiO3薄膜的折射率比单层BaTiO3薄膜折射率大许多,与体BaTiO3的折射率相接近,这说明渐变型多层膜中BaTiO3薄膜的光学性质与体材料的光学性质接近.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张曰理	中山大学光电材料与技术国家重点实验室物理系	27	80	4.0	8.0
2	莫党	中山大学光电材料与技术国家重点实验室物理系	18	141	6.0	11.0
3	S.U.Adikary	香港理工大学应用物理系和材料研究中心	1	1	1.0	1.0
4	C.L.Mak	香港理工大学应用物理系和材料研究中心	1	1	1.0	1.0
5	H.L.W.Chen	香港理工大学应用物理系和材料研究中心	1	1	1.0	1.0
6	C.L.Choy	香港理工大学应用物理系和材料研究中心	1	1	1.0	1.0