用激光散射测量亚微米级表面粗糙度

• 作者: S·H·Wang 曲万春
• 来源期刊: 光学精密机械
• 学科: 工学
• 关键词: 表面粗糙度 激光散射 非接触测量 激光二极管 表面光洁度
• 年，卷（期）: 2003,（1）
• 页码范围: 1-4
• 页数: 4页
• 分类号: TG84

摘要

一种亚微米级表面粗糙度测量技术已经研制出来，其原理是基于物体粗造表面的激光散射。它是用激光二极管作为光源，用这种光电装置来记录从粗糙表面散射回来的光磁场变化。与表面粗糙度相对应的这种散射波段的光强分布是由二极管组成的线阵来记录的，并由一个单芯片微处理器来分析结果。通过测量几套不同加工过程的测试表面，文章提出了评价表面粗糙度的方法。