薄膜均匀性的有限元算法

• 作者: 蔡邦维 谭旭东 马孜
• 来源期刊: 激光技术
• 学科: 物理学
• 关键词: 薄膜 均匀性 有限元 转速
• 年，卷（期）: 2003,（5）
• 所属期刊栏目: 材料和元件
• 页码范围: 480-483
• 页数: 4页
• 分类号: O484.4+1
• 字数: 2705字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3806.2003.05.007

摘要

应用有限元方法模拟计算了镀膜系统平行平面转盘在不同转速以及不同的镀膜时间下波分复用(DWDM)系统介质滤光片的成膜均匀性.结果表明,针对不同的膜料,合理选择转速和控制镀膜时间能够提高薄膜成膜的均匀性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	蔡邦维	四川大学电子信息学院	66	756	15.0	24.0
2	马孜		27	98	4.0	9.0
3	谭旭东	四川大学电子信息学院	4	15	2.0	3.0