紫外激光刻蚀多层线路板初步研究

• 作者: 凌磊 叶震寰 楼祺洪 董景星 魏运荣
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 激光技术 紫外激光 刻蚀 多层线路板
• 年，卷（期）: 2003,（10）
• 所属期刊栏目: 激光应用
• 页码范围: 953-955
• 页数: 3页
• 分类号: TN249
• 字数: 1623字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0258-7025.2003.10.021

摘要

描述了固体倍频紫外激光在355 nm和266 nm,不同聚焦透镜实验条件下,对多层电路板的微刻蚀实验,进行了其传热一维模型的理论推导,并得到了在实验条件下最佳的理论参数为波长266 nm,峰值功率大于2×106 J/s,聚焦透镜焦距为200 mm,为激光修复多层线路板的工业应用提供了一定的实验依据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	叶震寰	中国科学院上海光学精密机械研究所	24	241	10.0	15.0
2	楼祺洪	中国科学院上海光学精密机械研究所	131	1539	22.0	31.0
3	董景星	中国科学院上海光学精密机械研究所	93	890	17.0	23.0
4	魏运荣	中国科学院上海光学精密机械研究所	86	833	17.0	23.0
5	凌磊	中国科学院上海光学精密机械研究所	12	166	7.0	12.0