降低扭臂结构微机械光开关驱动电压的新方法

• 作者: 刘彩霞 张歆冬 张龙 董玮 阮圣平 陈维友
• 来源期刊: 吉林大学学报(信息科学版)
• 学科: 工学
• 关键词: 微机械 光开关 静电驱动 扭臂 阈值电压
• 年，卷（期）: 2003,（1）
• 所属期刊栏目: 电子科学与工程
• 页码范围: 1-3
• 页数: 3页
• 分类号: TN223
• 字数: 1408字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-5896.2003.01.001

摘要

利用机械和电学特性,推导出悬梁的位移与外加电压之间的关系,指出外加电压与扭臂厚度的3次方成正比,随上下电极之间距离的减小而降低.提出了一种具有倾斜下电极的驱动结构,该结构可以通过具有倾斜一定角度的(111)硅片的各向异性腐蚀得到.理论分析表明,倾斜下电极结构可以使阈值电压从60 V降低到32 V.