单芯片集成加速度计陀螺的研究

• 作者: 刘俊 张文栋 石云波
• 来源期刊: 测试技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 陀螺仪 加速度计 静电驱动 单芯片集成
• 年，卷（期）: 2003,（2）
• 所属期刊栏目: 电子线路设计与应用
• 页码范围: 156-160
• 页数: 5页
• 分类号: TN98|TP212
• 字数: 2715字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-7449.2003.02.016

摘要

讨论单片集成加速度计陀螺的结构及其工作原理, 并对单结构加速度计陀螺的加速度信号和陀螺信号的分离进行了阐述. 在以往的微型惯性测量组合中, 加速度计和陀螺是分离的, 这样将产生较大的轴间耦合误差. 设计了双质量块振动系统, 利用一个敏感头同时测量加速度和陀螺信号. 在此基础上讨论了陀螺的驱动电路与信号检测电路.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘俊	北京大学微电子研究所	21	231	9.0	15.0
3	张文栋	华北工学院电子工程系	27	265	7.0	16.0
6	石云波	华北工学院电子工程系	5	45	4.0	5.0