3英寸双面YBCO高温超导外延薄膜研究

• 作者: 何世明 刘兴钊 张其劭 张鹰 李德红 李言荣 羊恺 邓新武 陈家俊 陶伯万
• 来源期刊: 低温物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 高温超导薄膜 YBCO 均匀性
• 年，卷（期）: 2003,（z1）
• 页码范围: 16-19
• 页数: 4页
• 分类号: O51
• 字数: 1713字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-3258.2003.z1.004

摘要

本文采用倒筒直流溅射方法(ICS)结合基片变速双轴旋转方式原位生长Φ3英寸双面YBCO高温超导外延薄膜.膜厚分布最大偏差小于10%,薄膜样品的中心与边缘部分的Tc0均达到90K,ΔTc≤0.3K,FWHM(005)≈0.2°,Rs(10GHz,77K)≈0.8mΩ,Jc值分布在2.2～3.1MA*cm-2之间,表明样品均匀性良好.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张鹰		47	169	7.0	9.0
2	邓新武		17	97	5.0	9.0
3	李言荣		115	824	15.0	21.0
4	羊恺		65	331	9.0	14.0
5	刘兴钊		56	310	9.0	14.0
6	张其劭		32	275	10.0	15.0
7	陶伯万		39	165	5.0	10.0
8	陈家俊		7	30	4.0	5.0
9	李德红		2	25	2.0	2.0
10	何世明		9	39	3.0	6.0