近距离升华制备CdTe掺Te薄膜的结构与电性能研究

• 作者: 徐金宝 戴康 李锦 郑毓峰 陈树义
• 来源期刊: 无机材料学报
• 学科: 工学
• 关键词: 近距离升华(CSS)技术 CdTe薄膜
• 年，卷（期）: 2003,（1）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 195-199
• 页数: 5页
• 分类号: TN304
• 字数: 2420字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-324X.2003.01.031

摘要

采用近距离升华(Close-Spaced-Sublimation,CSS)技术制备CdTe及掺Te薄膜.并利用XRF、XRD、SEM及Hall系统研究了其含量、结构、表面形貌和电性能.结果表明,CSS技术制备的CdTe薄膜晶形好,晶粒度较RF方法制备的薄膜增大约100倍.Te掺入CdTe薄膜后,改变了CdTe膜的结晶特性,适当掺入Te可以促进CdTe晶格的生长,并导致CdTe膜晶格常数变大.薄膜面电阻率降低,面载流子浓度增大,以及载流子迁移率的增大,表明掺杂Te后CdTe膜的电导性能大大改善.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郑毓峰	新疆大学物理系	56	610	13.0	23.0
2	戴康	新疆大学物理系	125	99	4.0	4.0
3	陈树义	新疆大学物理系	5	29	3.0	5.0
4	徐金宝	新疆大学物理系	10	107	6.0	10.0
5	李锦	新疆大学物理系	22	68	6.0	7.0