钼钨纳米合金膜的制备及其微结构研究

• 作者: 王显祥 章娴君 郑慧雯
• 来源期刊: 西南师范大学学报(自然科学版)
• 学科: 化学
• 关键词: 气相沉积 羰基金属 纳米 合金膜
• 年，卷（期）: 2003,（5）
• 页码范围: 762-765
• 页数: 4页
• 分类号: O647.1|O484.5
• 字数: 2856字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-5471.2003.05.022

摘要

利用羰基金属气相沉积方法, 在Al2O3陶瓷基片上, 以Mo(CO)6+W(CO)6为源, 制备了MoW纳米合金晶膜. 采用XRD和SEM技术, 并与相同条件制备的Mo膜比较, 研究了MoW合金晶膜的微结构. 结果表明: 该法制备的薄膜是以纳米粒子状态存在、具有超微结构的多晶膜材料.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	章娴君	西南师范大学化学化工学院	18	254	11.0	15.0
2	王显祥	西南师范大学化学化工学院	6	59	4.0	6.0
3	郑慧雯	西南师范大学化学化工学院	11	181	8.0	11.0