溶胶-凝胶法制备SiO2气凝胶薄膜溶胶粘度的研究

• 作者: 冯坚 张长瑞 王娟
• 来源期刊: 国防科技大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: SiO2气凝胶薄膜 粘度 溶胶-凝胶 低介电常数
• 年，卷（期）: 2003,（6）
• 所属期刊栏目: 计算机工程·材料工程
• 页码范围: 30-34
• 页数: 5页
• 分类号: TB321|TB383
• 字数: 3469字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2486.2003.06.007

摘要

用低介电常数介质薄膜代替传统的SiO2薄膜是减小ULSI中互连延迟、串扰和能耗的有效方法.SiO2气凝胶薄膜因具有低介电常数、低密度、高热稳定性等性能而成为ULSI中金属间介质的理想材料.以正硅酸乙酯为原料,采用酸/碱两步溶胶-凝胶法结合匀胶和超临界干燥等工艺在硅片上成功制备了SiO2气凝胶薄膜.研究了不同配比的SiO2溶胶粘度随时间的变化;确定了适于匀胶的溶胶的粘度范围为9～15mPa*s;发现溶胶粘度在9～15mPa*s的时间随溶剂异丙醇(IPA)用量的增加和NH4OH的减少而延长.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张长瑞	国防科学技术大学航天与材料工程学院	30	357	10.0	18.0
2	王娟	国防科学技术大学航天与材料工程学院	7	124	5.0	7.0
3	冯坚	国防科学技术大学航天与材料工程学院	25	198	9.0	13.0