α-Si3N4晶须的制备与分析

• 作者: 曹阳 潘伟 齐龙浩
• 来源期刊: 硅酸盐通报
• 学科: 工学
• 关键词: 等离子体 气相反应 无定型氮化硅 晶须 α-Si3N4
• 年，卷（期）: 2003,（5）
• 所属期刊栏目: 研究工作快报
• 页码范围: 89-91
• 页数: 3页
• 分类号: TQ17
• 字数: 1462字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-1625.2003.05.021

摘要

采用高频等离子体气相反应法制备的无定型氮化硅超细粉末为原料.通过在1450℃氮气气氛下,2h的热处理,使无定型氮化硅转为α相氮化硅,并生长出α-Si3N4晶须.试验分析证明所得到的α-Si3N4晶须直径为50～200nm,无明显缺陷,其晶须生长方向为〈0110〉.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	潘伟	清华大学新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室	86	734	14.0	23.0
2	曹阳	清华大学新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室	6	56	3.0	6.0
3	齐龙浩	清华大学新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室	31	399	12.0	19.0