阴极电弧源镀制TiO2薄膜的研究

• 作者: 周友苏 张立珊
• 来源期刊: 现代制造工程
• 学科: 工学
• 关键词: 真空 电弧 薄膜
• 年，卷（期）: 2003,（z1）
• 所属期刊栏目: 工艺与工艺装备
• 页码范围: 36-37
• 页数: 2页
• 分类号: TQ153
• 字数: 1741字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-3133.2003.z1.017

摘要

在真空条件下利用阴极电弧源在不同基底材料上镀制TiO2薄膜.对影响镀膜过程和膜层质量的氧气工作压强、偏压和电流等因素进行研究.经X射线结构分析结果显示TiO2薄膜主要以锐钛矿结构为主及少量的金红石结构.对TiO2薄膜的化学性质、力学性质进行了初步检测.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周友苏		7	31	3.0	5.0
2	张立珊		8	19	3.0	4.0