MEMS的光学检测方法和仪器

• 作者: 何滢 叶声华 宋丽梅 曲兴华 赵旭辉
• 来源期刊: 光学技术
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS(微机电系统) 光学检测方法 光学仪器
• 年，卷（期）: 2003,（2）
• 所属期刊栏目: 光学测量
• 页码范围: 197-200
• 页数: 4页
• 分类号: TH703|TH706
• 字数: 2809字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1002-1582.2003.02.005

摘要

随着微电子机械系统(MEMS,Micro Electro Mechanical System)研究的深入和产业化的需求,其检测在MEMS中的重要性越来越大.光学检测方法以其非接触、快速、高精度等优点得到了大量的应用.分析和介绍了国内外采用光学检测法进行MEMS检测的方法及相关检测仪器在测量中的应用.尤其是Nanosurf测量仪器,它是一种独立的三维非接触测量系统,扫描共焦显微镜是基于白光共焦技术,强大且友好的软件控制使所需获得的数据不仅速度快,而且精度很高,并且提供了多种不同的表面分析方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	叶声华	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	292	6282	40.0	63.0
2	宋丽梅	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	20	170	7.0	12.0
3	曲兴华	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	131	1717	25.0	35.0
4	赵旭辉	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	5	110	5.0	5.0
5	何滢	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	6	124	6.0	6.0