PLD系统中硅板加热器温度的影响因素

• 作者: 张虞澜 张鹏翔 彭巨擘 朱绍将 王茺 陈大鹏
• 来源期刊: 材料科学与工程学报
• 学科: 工学
• 关键词: PLD 硅板加热器 衬底 真空度
• 年，卷（期）: 2003,（5）
• 所属期刊栏目: 研究简报
• 页码范围: 731-732
• 页数: 2页
• 分类号: TB43
• 字数: 1714字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-2812.2003.05.028

摘要

研究了PLD系统中用硅板做衬底加热器时影响衬底温度的几个因素.通过使用校准了的红外测温仪做温度检测元件,发现:1.硅板上各部分的温度不是均匀分布的;2.衬底放在硅板上时,衬底温度和硅板温度有很大的不同;3.在相同的硅板加热电流下,硅板温度随硅板环境的真空度不同而变化.不细致考虑上述因素时,脉冲激光沉积(PLD)镀膜的质量很难保证.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张鹏翔	昆明理工大学光电子新材料研究所	148	1293	19.0	28.0
2	陈大鹏	昆明理工大学光电子新材料研究所	4	72	3.0	4.0
3	彭巨擘	昆明理工大学光电子新材料研究所	10	34	3.0	5.0
4	王茺	昆明理工大学光电子新材料研究所	6	48	4.0	6.0
5	朱绍将	昆明理工大学光电子新材料研究所	3	21	3.0	3.0
6	张虞澜	昆明理工大学光电子新材料研究所	1	3	1.0	1.0