自带计量标准器的二维位移工作台研究

• 作者: 王选择 谢铁邦 郭军
• 来源期刊: 华中科技大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 二维位移工作台 平面正交衍射光栅 计数细分 李萨如图
• 年，卷（期）: 2003,（11）
• 页码范围: 53-54,60
• 页数: 3页
• 分类号: TH703.8
• 字数: 1562字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1671-4512.2003.11.019

摘要

提出以平面正交衍射光栅作为二维位移工作台计量标准器的方法,随工作台的移动,光栅能同时检测一个平面上两个方向的位移.阐述了正交衍射光栅作为位置检测元件的工作原理及其光路布置方法,二次衍射光线的两两迭加,形成两组干涉条纹信号,且这两组干涉条纹信号的相移与光栅两个正交方向的位移呈正比,通过光电转换和计数细分处理电路得到条纹信号的相移;检测光路布置在工作台下方,通过几组直角棱镜使干涉条纹信号进入光电探测器.实验分析了工作台的测量精度,有效分辨率提高到10nm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谢铁邦	华中科技大学机械科学与工程学院	92	848	17.0	24.0
2	王选择	华中科技大学机械科学与工程学院	12	170	7.0	12.0
3	郭军	华中科技大学机械科学与工程学院	22	287	11.0	16.0