超精密二维工作台自标定技术研究

• 作者: 尹文生 朱煜 朱立伟
• 来源期刊: 中国机械工程
• 学科: 工学
• 关键词: 超精密 二维工作台 自标定 测量不确定度分析
• 年，卷（期）: 2005,（20）
• 所属期刊栏目: 机械科学
• 页码范围: 1787-1790
• 页数: 4页
• 分类号: TH161.5
• 字数: 3793字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2005.20.001

摘要

基于刚性运动方程和非线性最优化方法提出了一种超精密二维工作台自标定模型,研究了随机测量误差在自标定过程中的传递特性,在此基础上提出了超精密二维工作台自标定算法.给出了一个应用实例,验证了该算法的可行性和有效性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	尹文生		39	623	12.0	24.0
2	朱煜		99	1312	17.0	33.0
3	朱立伟		4	37	4.0	4.0