超精密级二维工作台的自标定

• 作者: 刘雪明 崔继文 谭久彬
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 二维工作台 自标定 标记板 误差分析
• 年，卷（期）: 2012,（9）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 1960-1966
• 分类号: TP273|TH703
• 字数: 4142字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20122009.1960

摘要

为了提高超精密级二维工作台的运动定位精度,提出了一种实现工作台系统误差分离的二维自标定算法.基于工作台测量误差模型,该算法利用辅助标记板的5个不同测量位姿,分别得到迭代模型和迭代初始值,最终建立完整的迭代二维自标定模型.应用该算法对系统误差为0.2 μm的二维工作台进行仿真,结果显示:当不存在随机测量噪声时,标定精度为0.33 nm；引入随机测量噪声时,标定精度与噪声同一量级.对x、y向给定测量精度分别为2.98 μm和3.22μm的二维工作台进行自标定,得到x、y向测量精度分别为2.59 μm和3.14 μm.提出的自标定算法对随机测量噪声有很好的鲁棒性,能够用于精密或超精密级二维工作台自标定.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谭久彬	哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所	140	2284	28.0	42.0
2	崔继文	哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所	20	416	10.0	20.0
3	刘雪明	哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所	2	33	2.0	2.0