对移相误差不敏感的四帧相位算法

• 作者: 徐毓娴 惠梅 李庆祥 王东生 邓年茂
• 来源期刊: 清华大学学报(自然科学版)
• 学科: 工学
• 关键词: 相移干涉术 相位提取算法 相移器 误差因子
• 年，卷（期）: 2003,（8）
• 所属期刊栏目: 精密仪器与机械学
• 页码范围: 1017-1019
• 页数: 3页
• 分类号: TH744.3
• 字数: 1771字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-0054.2003.08.007

摘要

应用相移干涉术测量物体表面微观形貌时,相移器的移相误差直接影响测量精度.在四帧干涉图情形下,推导出了对移相误差不敏感的相位解算方法.算法将相移误差因子作为中间可代换变量,它的大小随机变化不影响相位计算结果,即相位计算式与相移误差因子无关.对标准正弦样板进行的实验验证表明,该算法有效地抑制了移相误差对形貌测量的影响,进一步提高了表面微观形貌的测量精度和测量可靠性、提高了测量系统的整体性能指标.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邓年茂	中国科学院西安光学精密机械研究所	7	126	6.0	7.0