测量大数值孔径光学系统小光斑的方法

• 作者: 干福熹 徐文东
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 应用光学 小光斑 近场光学显微镜光纤探针 大数值孔径光学系统
• 年，卷（期）: 2003,（2）
• 所属期刊栏目: 测量技术
• 页码范围: 171-174
• 页数: 4页
• 分类号: TN247
• 字数: 3453字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0258-7025.2003.02.019

摘要

介绍了一种小孔扫描测量大数值孔径光学系统小光斑的方法.利用近场光学显微镜的光纤探针采样技术和压电陶瓷扫描技术,可对光学系统小光斑的光强分布进行高空间分辨的测量.由于光纤探针采样点的大小为几十纳米或更小,压电陶瓷扫描间距为几纳米或更小,因此该方法特别适合大数值孔径光学系统小光斑的测量.实验证明,采用该方法,测量的空间分辨率可达50～100 nm左右.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	干福熹	中国科学院上海光学精密机械研究所	288	2527	23.0	29.0
2	徐文东	中国科学院上海光学精密机械研究所	38	490	11.0	22.0