基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取       
摘要:
利用等离子体辅助化学气相沉积法(PACVD)在60Mn钢基片上沉积2.5μm厚的TiN膜.借助X射线应力分析技术和微拉伸设备,测量该附着膜纵向(加载方向)应力和横向应力及外载应变,进而求其等效应力-等效单轴应变关系,并由此算得它的条件屈服点σ(0.1)和σ(0.2)分别为4.2和4.4 GPa,加工硬化指数为0.36.用纳米压痕仪测得其硬度为25 GPa,弹性模量为420 GPa.TiN膜在拉伸过程中发生了塑性变形.
推荐文章
土体应力-应变关系转型问题分析
应力-应变关系
转型
后破坏模量
临界围压
影响因素
油料冷榨的应力应变关系研究
油料
应力应变
模拟
参数反演
膨胀性泥岩应力-应变关系的试验研究
膨胀性泥岩
应变软化
强度
剪切速率
堆石料应力-应变关系的拟合方法研究
拟合
双曲线
拐点
应力
应变
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数  
(/次)
(/年)
文献信息
篇名 TiN附着膜的应力-应变关系
来源期刊 金属学报 学科 工学
关键词 TiN膜 双轴应力 应力-应变关系 X射线拉伸实验 纳米压痕法
年,卷(期) 2003,(7) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 721-724
页数 4页 分类号 TG113.25|TG115.222|O484.2
字数 2587字 语种 中文
DOI 10.3321/j.issn:0412-1961.2003.07.009
五维指标
传播情况
(/次)
(/年)
引文网络
引文网络
二级参考文献  (0)
共引文献  (0)
参考文献  (2)
节点文献
引证文献  (5)
同被引文献  (1)
二级引证文献  (0)
1997(1)
  • 参考文献(1)
  • 二级参考文献(0)
1998(1)
  • 参考文献(1)
  • 二级参考文献(0)
2003(0)
  • 参考文献(0)
  • 二级参考文献(0)
  • 引证文献(0)
  • 二级引证文献(0)
2007(1)
  • 引证文献(1)
  • 二级引证文献(0)
2008(2)
  • 引证文献(2)
  • 二级引证文献(0)
2012(1)
  • 引证文献(1)
  • 二级引证文献(0)
2016(1)
  • 引证文献(1)
  • 二级引证文献(0)
研究主题发展历程
节点文献
TiN膜
双轴应力
应力-应变关系
X射线拉伸实验
纳米压痕法
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
金属学报
月刊
0412-1961
21-1139/TG
大16开
沈阳文化路72号
2-361
1956
chi
出版文献量(篇)
4859
总下载数(次)
9
相关基金
国家自然科学基金
英文译名:the National Natural Science Foundation of China
官方网址:http://www.nsfc.gov.cn/
项目类型:青年科学基金项目(面上项目)
学科类型:数理科学
论文1v1指导