CVD金刚石衬底温度场的自调整模糊PID控制器研究

• 作者: 宋胜利 左敦稳 朱胤 王珉
• 来源期刊: 中国制造业信息化
• 学科: 工学
• 关键词: 自调整模糊控制 PID控制 温度场
• 年，卷（期）: 2003,（11）
• 所属期刊栏目: 先进制造与智能控制
• 页码范围: 83-86
• 页数: 4页
• 分类号: TP273
• 字数: 2553字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-1616.2003.11.032

摘要

以CVD金刚石衬底温度场为控制对象,采用复合型模糊控制器,建立一种双模控制系统.详细介绍了控制思路及实现算法,并在模糊控制系统中引入自调整模糊PID算法,实现模糊语言规则及综合推理的实时调节,从而获得较强的适应能力,可在系统参数变化或存在扰动的情况下,保证控制系统具有较好性能.结果表明该控制系统具有较强的鲁棒性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	左敦稳	南京航空航天大学机电学院	510	3780	26.0	32.0
2	王珉	南京航空航天大学机电学院	205	2631	27.0	40.0
3	朱胤	南京航空航天大学机电学院	4	20	3.0	4.0
4	宋胜利	南京航空航天大学机电学院	9	144	6.0	9.0