氧化铟锡薄膜在光学太阳反射镜上的应用

• 作者: 常天海
• 来源期刊: 华南理工大学学报(自然科学版)
• 学科: 工学
• 关键词: 光学太阳反射镜 抗静电放电 氧化铟锡薄膜
• 年，卷（期）: 2003,（9）
• 页码范围: 40-43
• 页数: 4页
• 分类号: TN828.5|TN305.92|TB43
• 字数: 3265字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-565X.2003.09.009

摘要

研究了光学太阳反射镜抗静电放电用氧化铟锡薄膜的设计原则.理论分析和实验结果表明,在将氧化铟锡(ITO)薄膜应用于光学太阳反射镜(OSR)表面防静电放电时,ITO薄膜的表面方阻R□不能小于5 kΩ@□-1,否则会导致OSR的太阳光谱吸收率增加.建议取R□=5～106kΩ@□-1,薄膜厚度d=(150～200)×10-10 m.同时必须保证ITO薄膜接地效果良好,否则会使OSR表面充放电现象更加严重.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	常天海	华南理工大学电子与信息学院	67	317	10.0	14.0