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冷压印光刻中高分辨率抗蚀剂的研究
集成电路
抗蚀剂
冷压印光刻
提高反射地震成像分辨率的方法及应用
地震记录
地震分辨率
动校正
共中心点叠加
偏移成象
偏移距
提高雷达速度分辨率的线性调频Z变换方法
测速雷达
速度分辨率
频谱
FFT
线性调频Z变换
提高微电阻率成像测井分辨率的实现方法
测井仪器
微电阻率成像测井
时间序列
数值积分
梯形法则
归一化
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 提高光刻分辨率的方法
来源期刊 科技开发动态 学科 工学
关键词 光刻分辨率 拆射率 掩膜板
年,卷(期) 2003,(2) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 50
页数 1页 分类号 TN305.7
字数 语种 中文
DOI
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2003(0)
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研究主题发展历程
节点文献
光刻分辨率
拆射率
掩膜板
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
科技开发动态
双月刊
1003-014X
CN 11-2681/N
北京市中关村北四环西路33号
出版文献量(篇)
5181
总下载数(次)
14
总被引数(次)
0
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