测试105g微阵列式加速度传感器

• 作者: 刘晓明
• 来源期刊: 中国机械工程
• 学科: 工学
• 关键词: 传感器 加速度 传感阵列 设计与制造
• 年，卷（期）: 2003,（5）
• 所属期刊栏目: 机械科学
• 页码范围: 371-374
• 页数: 4页
• 分类号: TP212
• 字数: 2544字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2003.05.004

摘要

研究测试105g微阵列式加速度传感器的设计与制造.该传感器应用微加工技术制成,具有测试加速度值大、响应速度快等特点.应用非线性回归理论及正交试验分析方法,解决传感阵列的布阵设计;根据理论分析和试验研究,提出了8个传感器位于芯片平面内同一圆周上8等分处的布阵,给出了8点图形传感阵列的设计版图;并制造出微阵列式加速度传感器的样品,经测试满足设计要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘晓明		1	11	1.0	1.0