TP77椭圆偏振光测厚仪功能的拓展研究

• 作者: 朱兰 李楚容 邱亚琴 陈涛
• 来源期刊: 华中科技大学学报(自然科学版)
• 学科: 工学
• 关键词: 椭圆光度法 折射指数 消光指数 光学测量
• 年，卷（期）: 2003,（2）
• 页码范围: 43-44
• 页数: 2页
• 分类号: TH741
• 字数: 1531字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1671-4512.2003.02.016

摘要

成功地将TP77椭圆偏振光测厚仪改装成以卤钨灯或氙灯为光源的广谱椭偏仪.改装后的椭偏仪不含λ/4波长片,而配有一型号为WDG5001A的单色仪和一个X-Y函数记录仪,它可用来测量固体薄膜和片状材料的折射指数n(λ)和消光指数k(λ).

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈涛	华中科技大学电子科学与技术系	175	1655	21.0	35.0
2	邱亚琴	华中科技大学电子科学与技术系	7	9	2.0	2.0
3	李楚容	华中科技大学电子科学与技术系	10	236	7.0	10.0
4	朱兰	华中科技大学电子科学与技术系	11	43	4.0	6.0