产业发展与半导体设备和材料标准化

• 作者: 包成良
• 来源期刊: 电子产品世界
• 学科: 工学
• 关键词: 半导体设备和材料 标准化
• 年，卷（期）: 2003,（18）
• 所属期刊栏目: 生产与测试
• 页码范围: 22-25
• 页数: 4页
• 分类号: TM2
• 字数: 5734字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-5517.2003.18.015

摘要

本文全面分析了SEMI国际标准的策略和特点,结合我国电子信息产业的现状和发展需求,探讨了半导体设备和材料标准化发展战略.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	包成良		1	2	1.0	1.0