IC生产线晶圆片冲洗甩干设备的开发和应用

• 作者: 杨建忠
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 晶圆片 旋转冲洗 甩干 CXS系列
• 年，卷（期）: 2004,（3）
• 所属期刊栏目: 先进工艺设备技术
• 页码范围: 64-68
• 页数: 5页
• 分类号: TN305.97
• 字数: 3624字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2004.03.019

摘要

从IC生产线晶圆片旋转冲洗甩干工艺出发,介绍了半导体晶圆片清洗后的旋转冲洗甩干方法,以及新近开发研制的CXS系列旋转冲洗甩干机的技术原理、结构特点及工艺应用情况.