激光直写技术的研究现状及其进展

• 作者: 徐兵 陈林森 魏国军
• 来源期刊: 光电子技术与信息
• 学科: 工学
• 关键词: 激光直写 二元光学元件 光刻 空间光调制器 光变图像
• 年，卷（期）: 2004,（6）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 1-5
• 页数: 5页
• 分类号: TN305.7
• 字数: 3957字
• 语种: 中文

摘要

介绍了激光直写技术的最新发展现状,系统的功能、结构和工作方式,对当前该系统存在的一些问题进行了归纳分析,探讨了系统的应用范围和今后的发展方向.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈林森	苏州大学信息光学工程研究所	81	469	12.0	17.0
2	魏国军	苏州大学信息光学工程研究所	19	170	8.0	12.0
3	徐兵	苏州大学信息光学工程研究所	8	89	4.0	8.0