微机械(MEMS)与微细加工技术

• 作者: 段润保 毛言理 赵砚江
• 来源期刊: 河北理工学院学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微机械 MEMS 微细加工 特种加工
• 年，卷（期）: 2004,（2）
• 所属期刊栏目: 机械、仪表工业
• 页码范围: 34-40
• 页数: 7页
• 分类号: TH161+.11
• 字数: 7637字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1674-0262.2004.02.009

摘要

首先对微机械(MEMS)的分类及其特点作了简明的阐述,在此基础上,着重评介了近年来该领域各种微细加工方法及其能够达到的加工尺度与水平.指出当前微细加工技术仍然在以使用物理和化学能量的特种加工为主,并呈现加工材料扩大化、产品机构复杂和加工手段复合化的发展态势.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	段润保	上海交通大学机械与动力工程学院	11	86	4.0	9.0
3	赵砚江	河北理工学院机械工程系	2	47	2.0	2.0
4	毛言理	河北理工学院机械工程系	3	57	3.0	3.0