微细加工技术与应用

• 作者: 孙燕华 沈明南
• 来源期刊: 机械制造与自动化
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 微细机加工 微细电加工 LIGA技术
• 年，卷（期）: 2005,（6）
• 所属期刊栏目: 机械制造与研究
• 页码范围: 64-66
• 页数: 3页
• 分类号: TH16
• 字数: 2419字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-5276.2005.06.021

摘要

微细加工技术是现代机电领域新兴学科微机电系统(MEMS)研究的关键技术之一.分析了近年来微机械领域的主要微细加工方法、能达到的加工尺度与水平、加工范畴及应用;阐述了微细加工技术的发展趋势.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙燕华		31	92	5.0	7.0
2	沈明南		11	34	3.0	5.0