CVD金刚石薄膜的微机械加工技术研究进展

• 作者: 丁桂甫 曹莹 李新永 蒋振新
• 来源期刊: 金刚石与磨料磨具工程
• 学科: 工学
• 关键词: 金刚石薄膜 微机械加工技术 反应离子刻蚀
• 年，卷（期）: 2003,（1）
• 所属期刊栏目: 研究与应用
• 页码范围: 6-11
• 页数: 6页
• 分类号: TG163
• 字数: 6297字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-852X.2003.01.002

摘要

金刚石薄膜是一种蕴涵巨大应用潜力的新型电子功能材料,但是它极高的硬度和化学稳定性使其难以被加工成型,因此,金刚石薄膜的微机械加工技术是其MEMS应用的关键技术问题之一.本文介绍了近年来国内外在选择性生长、模型复制、激光刻蚀和等离子体刻蚀等金刚石微机械加工技术方面的研究进展,着重探讨了可以直接对金刚石薄膜进行微细加工的反应离子刻蚀技术,提出了改善微机械加工效果的金属掩膜侧壁钝化概念,为MEMS器件的金刚石微结构集成制造开辟了更为精确有效的技术途径.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	丁桂甫	上海交通大学微纳米科学技术研究院	60	503	12.0	19.0
2	蒋振新	上海交通大学微纳米科学技术研究院	7	80	5.0	7.0
3	曹莹	上海交通大学微纳米科学技术研究院	10	57	4.0	7.0
4	李新永	上海交通大学微纳米科学技术研究院	1	16	1.0	1.0