微通道板技术

• 作者: 刘俊 石云波 郭涛
• 来源期刊: 测试技术学报
• 学科: 军事
• 关键词: 微通道板 MEMS技术 深槽刻蚀
• 年，卷（期）: 2004,（z3）
• 所属期刊栏目: 微电子机械系统(MEMS)
• 页码范围: 29-32
• 页数: 4页
• 分类号: E2
• 字数: 2243字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-7449.2004.z3.010

摘要

本文针对军用夜视仪中的关键部件微通道板,简述了微通道板的基本原理,讨论了微通道板传统加工工艺的优缺点,并结合MEMS技术的发展,说明了新型工艺在加工中的优势,最后阐述了目前我国微通道板与世界强国之间的差距.