等离子体参数诊断及其特性研究

• 作者: 吴先球 樊双莉 符斯列 赵文峰 陈俊芳 马涛
• 来源期刊: 华南师范大学学报(自然科学版)
• 学科: 物理学
• 关键词: ECR-PEMOCVD 朗缪尔探针 离子密度 电子温度
• 年，卷（期）: 2004,（2）
• 页码范围: 77-81
• 页数: 5页
• 分类号: O434.14
• 字数: 3212字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-5463.2004.02.014

摘要

利用朗缪尔探针,诊断了Pw=650W、Im=145 A、p=0.1 pa条件下在微波电子回旋共振等离子体增强有机金属化学气相沉积ECR-PEMOCVD装置反应室中ECR等离子体密度和电子温度的空间分布规律并分析了磁场对等离子体分布的影响.上游Ⅰ区的等离子体受磁场梯度影响、按磁场位形扩散且等离子体分布不均匀;下游U区的等离子体具有良好的径向分布均匀性.下游Ⅱ区z=30cm、直径为16 cm区域内等离子体密度均匀性达到了96.3%.这种大面积均匀分布的等离子体在等离子体加工工艺中具有广泛的应用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴先球	华南师范大学物理与电信工程学院	125	760	15.0	24.0
2	陈俊芳	华南师范大学物理与电信工程学院	69	768	12.0	26.0
3	符斯列	华南师范大学物理与电信工程学院	25	77	5.0	7.0
4	樊双莉	华南师范大学物理与电信工程学院	3	38	3.0	3.0
5	赵文峰	华南师范大学物理与电信工程学院	1	25	1.0	1.0
6	马涛	华南师范大学物理与电信工程学院	3	31	2.0	3.0