SiC薄膜材料在MEMS中应用的研究进展

• 作者: 严如岳 崔梦 胡明
• 来源期刊: 压电与声光
• 学科: 工学
• 关键词: SiC 微电子机械系统(MEMS) 保护层 微结构层 应用
• 年，卷（期）: 2004,（6）
• 所属期刊栏目: 单晶、薄膜及其他功能材料
• 页码范围: 482-484,490
• 页数: 4页
• 分类号: TN402
• 字数: 3369字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-2474.2004.06.016

摘要

SiC材料具有极为优良的物理化学性能,以SiC材料替代传统Si材料制成的SiC微电子机械系统(MEMS),克服了Si MEMS本身性能的局限性,可满足在高温、高腐蚀等极端条件下的应用.文章综述了近几年SiC薄膜在MEMS中应用的研究进展,详细讨论了薄膜的性能、主要制备方法及微机械加工技术在SiC MEMS的应用.最后,分别举例说明SiC薄膜材料在MEMS中作为保护层和结构层应用的研究现状.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡明	天津大学电子信息工程学院	139	1336	19.0	28.0
2	崔梦	天津大学电子信息工程学院	10	123	7.0	10.0
3	严如岳	中国电子科技集团公司天津电子材料研究所	10	50	5.0	6.0