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摘要:
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冬小麦
化学杀雄
杂种优势利用
超F2紧开模糊拓扑
模糊拓扑空间
函数空间
超F2紧
超F2紧开模糊拓扑
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 等离子CVD生产商展望用F2替代NF3
来源期刊 无机化工信息 学科 工学
关键词 等离子CVD F2 NF3 氟气 三氟化氮 化学蒸气沉积
年,卷(期) 2004,(2) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 42
页数 1页 分类号 TQ-1
字数 语种
DOI
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2004(0)
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研究主题发展历程
节点文献
等离子CVD
F2
NF3
氟气
三氟化氮
化学蒸气沉积
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
无机化工信息
季刊
天津市红桥区丁字沽三号路85号
出版文献量(篇)
744
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2
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0
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