IC制造中的危害和预防

• 作者: 范钦文 顾爱军
• 来源期刊: 电子与封装
• 学科: 工学
• 关键词: 工艺气体 厂房设施 危害 防护
• 年，卷（期）: 2004,（3）
• 所属期刊栏目: 支撑技术
• 页码范围: 54-56,4
• 页数: 4页
• 分类号: TN405
• 字数: 3600字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1681-1070.2004.03.012

摘要

本文论述了关于IC制造中使用的工艺气体和厂房设施、生产设备的危害及防护.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	顾爱军		10	13	2.0	2.0
2	范钦文		1	1	1.0	1.0