基于LIGA技术的微细电火花加工优化研究

• 作者: 伊福廷 张菊芳 张院春 彭良强 邹丽芸 韩勇 黄军容
• 来源期刊: 电加工与模具
• 学科: 工学
• 关键词: 微细加工 LIGA技术 电火花加工
• 年，卷（期）: 2004,（z1）
• 所属期刊栏目: 设计·研究
• 页码范围: 39-41
• 页数: 3页
• 分类号: TG5
• 字数: 3074字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1009-279X.2004.z1.010

摘要

比较了活动掩膜法与固定掩膜法得到的PMMA胶结构,实验表明固定掩膜法更适合于多次曝光.结合LIGA技术和微细电火花加工的优点,用LIGA技术制备出具有复杂形状的铜微细工具电极,再用该工具电极进行微细电火花加工,在不锈钢上加工出异形微细孔.并通过进一步调整电火花加工工艺参数,优化了加工尺寸精度和表面粗糙度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	彭良强	中国科学院高能物理研究所	24	141	7.0	11.0
2	张菊芳	中国科学院高能物理研究所	21	136	6.0	11.0
3	黄军容	中国科学院高能物理研究所	6	43	3.0	6.0
4	韩勇	中国科学院高能物理研究所	67	1000	16.0	30.0
5	伊福廷	中国科学院高能物理研究所	38	150	6.0	10.0
6	张院春		5	53	3.0	5.0
7	邹丽芸		4	53	3.0	4.0