微机械电感器

• 作者: 张瑞平
• 来源期刊: 测试技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微机械 电感器 效率 工艺
• 年，卷（期）: 2004,（z3）
• 所属期刊栏目: 微电子机械系统(MEMS)
• 页码范围: 33-35
• 页数: 3页
• 分类号: TM5
• 字数: 1101字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-7449.2004.z3.011

摘要

微机械电感器作为基本电感元件用途相当广泛.本文介绍了螺线管电感器的原理,分析了其结构与工作效率的关系,设计了制作工艺过程.