衬底材质及表面粗糙度对SnO2薄膜结构的影响

• 作者: 李春芳
• 来源期刊: 武汉化工学院学报
• 学科: 其他
• 关键词: 衬底材质 粗糙度 透明导电膜 结构
• 年，卷（期）: 2004,（1）
• 页码范围: 45-47
• 页数: 3页
• 分类号: O848.1
• 字数: 1852字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1674-2869.2004.01.014

摘要

SnO2透明导电膜的光学、电学特性与它的结构密切相关.研究了衬底材质及表面粗糙度对薄膜结构的影响.结果表明:衬底材质影响薄膜晶粒大小、致密度及优势面;表面粗糙度影响薄膜结晶难易程度和致密度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李春芳	中南民族大学电子信息工程学院	17	85	5.0	8.0