纳机电系统

• 作者: 傅星 李源 胡小唐 胡春光 饶志军
• 来源期刊: 纳米技术与精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 纳机电系统 纳米技术
• 年，卷（期）: 2004,（1）
• 所属期刊栏目: 纳米技术
• 页码范围: 1-7
• 页数: 7页
• 分类号: TN603.5
• 字数: 5417字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-6030.2004.01.001

摘要

纳机电系统(NEMS)是基于微机电系统发展起来的新兴技术领域,同时也是纳米技术的重要组成部分.文中介绍了NEMS器件的微小尺寸、超高频率和超低能耗等重要特性,并列举了NEMS在生物、信息和纳米流体学等领域的应用.最后讨论了NEMS在发展中遇到的问题和涉及到的关键技术,如微观效应的影响,NEMS加工技术,NEMS的设计、仿真和优化,NEMS器件的驱动与检测,NEMS器件与宏观世界的通讯等.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李源	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	13	121	6.0	11.0
2	胡小唐	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	205	1913	21.0	33.0
3	傅星	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	107	753	14.0	20.0
4	胡春光	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	37	333	10.0	16.0
5	饶志军	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	3	68	3.0	3.0