集成微热沉系统的设计和制作

• 作者: 吴慧英 郑平
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS 微热沉 微通道 掺杂
• 年，卷（期）: 2004,（1）
• 所属期刊栏目: 微机械加工技术
• 页码范围: 52-57
• 页数: 6页
• 分类号: TP271+.4
• 字数: 2989字
• 语种: 中文

摘要

研究了将冷却微通道、微型测温元件以及微型发热元件集成在同一张单晶硅片上的设计和制作方法,同时讨论了由掺磷多晶硅制成的测温元件和发热元件的电阻温度特性,并给出微型测温元件的电流/温度曲线,以及微型发热元件的热流/电压曲线.该集成微热沉系统可用于微电子芯片的发热模拟以及微热沉冷却性能的实验研究.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴慧英	上海交通大学机械与动力工程学院	57	342	11.0	16.0
2	郑平	上海交通大学机械与动力工程学院	36	179	6.0	12.0