论纳米光栅测量技术

• 作者: 邹自强
• 来源期刊: 纳米技术与精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 纳米计量光栅 纳米测量 莫尔条纹 细分误差 纳米机械
• 年，卷（期）: 2004,（1）
• 所属期刊栏目: 纳米技术
• 页码范围: 8-15
• 页数: 8页
• 分类号: TH741.6|TP212.14
• 字数: 5268字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-6030.2004.01.002

摘要

作者及其同事们经过20多年努力将计量光栅技术提高到了纳米量级和亚纳米量级,并进行了大面积推广应用,形成了一整套纳米光栅测量技术,该文为对这套技术的综合论述.首先回顾了刻线技术的发展历史,指出中国古代曾作出杰出贡献.归纳了发展计量光栅技术的5个阶段和4项内容.给出纳米光栅的定义和两个特点,并通过作者和同事们的光栅制造过程说明,纳米光栅实质上是一种刻录、固化到光栅基体上的光波波长.它为纳米测量领域提供了一种新途径、新方法,与激光干涉仪等现有纳米测量方法相比,具有自己独特的优点.文中讨论了纳米光栅的读取技术与信号处理技术,提出了纳米光栅细分误差的错位测量法.还讨论了与纳米光栅相关的纳米机械,介绍了作者和同事们的科研成果,圆柱、导轨等的机械精度已经进入了纳米量级.最后讨论了纳米光栅与激光干涉仪以及高等级量块的比对结果.