生产半导体元件用专用级高纯磷酸的制备

• 作者: 彭力国
• 来源期刊: 磷酸盐工业
• 学科: 工学
• 关键词: 半导体 磷酸 制备方法 定量分析法 PH值
• 年，卷（期）: 2004,（2）
• 页码范围: 29-34
• 页数: 6页
• 分类号: TQ126.35

摘要

制备分析样品的方法：将欲被分析的杂质从磷酸中单独沉积下来并与磷酸分离；分析杂质的方法：将杂质从磷酸中单独沉积下来并与磷酸分离；再对分离的物质进行分析；制备高纯磷酸的方法：从待净化的磷酸中单独沉积出杂质并进行分离；制备半导体元件的方法：用磷酸作处理液，该磷酸的杂质含量(由所含的放射性元素Pb，Bi和Po的浓度确定)，不大于10^-3Bq/ml(Bq，贝克勒尔，放射性单位)。