超精密工件在线直线度多传感器测量方法

• 作者: 尹自强 李圣怡
• 来源期刊: 纳米技术与精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 超精密 直线度 直线运动误差 测量 误差分离方法 重构
• 年，卷（期）: 2004,（1）
• 所属期刊栏目: 精密测量
• 页码范围: 71-75
• 页数: 5页
• 分类号: TB921
• 字数: 4275字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-6030.2004.01.014

摘要

在超精密加工中,用多测头方法测量工件直线度时,需要采用误差分离的方法分离出溜板的运动误差,并用一定的算法重构工件表面的直线度.介绍了现有的各种算法,提出了两种新的无理论误差的精确算法以重构工件的直线度.该算法适应于两点法或三点法测量长短工件,能评价任意(包括光滑、非光滑、周期和非周期等)表面,并允许采用大的测头间距.仿真及实测结果表明了算法的优越性,并采用该方法对自研的大理石超精密机床的直线度进行了检测.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李圣怡	国防科技大学机电工程与自动化学院	186	3101	27.0	44.0
2	尹自强	国防科技大学机电工程与自动化学院	26	259	9.0	15.0