一种可实用的照明曝光系统

• 作者: 段立安
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 照明均匀性 单位面积能量 光学均匀器
• 年，卷（期）: 2004,（2）
• 所属期刊栏目: 专题报道(光刻技术与设备)
• 页码范围: 19-24
• 页数: 6页
• 分类号: TN305.7
• 字数: 6325字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2004.02.005

摘要

以作者多年的工作体会为基础,结合几种照明曝光系统的情况,介绍了提高光刻机的照明均匀性和单位面积能量的一些具体措施.并以光学均匀器为例,做出一种可实用的照明曝光系统.