一种新型可调式微机械光衰减器

• 作者: 彭德艳 忻佩胜 朱自强 李国栋 杨震 赖宗声
• 来源期刊: 华东师范大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 微光机电系统 抗反射结构 可调式光衰减器 静电力驱动
• 年，卷（期）: 2004,（3）
• 页码范围: 71-75
• 页数: 5页
• 分类号: TN929.1
• 字数: 1746字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-5641.2004.03.013

摘要

讨论基于抗反射结构(Mechanical Anti-Reflection Structure,MARS)的硅基微机械式光衰减技术的基本原理和相关的制造方法,研制了一种工作在1 320～1 550nm波长范围内的静电力驱动的可调式微机械光衰减器.制备该衰减器使用常规的硅平面工艺,制作简单,成本较低.器件体积小,响应速度快,可适应日益增长的波分复用(wavelength division multiplex,WDM)全光网的发展.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	忻佩胜	华东师范大学信息科学技术学院	16	115	7.0	10.0
2	朱自强	华东师范大学信息科学技术学院	40	272	11.0	13.0
3	赖宗声	华东师范大学信息科学技术学院	136	779	13.0	18.0
4	杨震	华东师范大学信息科学技术学院	2	4	2.0	2.0
5	彭德艳	华东师范大学信息科学技术学院	8	14	2.0	3.0
6	李国栋	华东师范大学信息科学技术学院	2	11	2.0	2.0