基于硅微加工技术的新型变形反射镜

• 作者: 余洪斌 张大成 李婷 竺子民 陈海清
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 工学
• 关键词: 变形反射镜 体微加工 静电驱动 凸角补偿 阳极键合
• 年，卷（期）: 2004,（7）
• 所属期刊栏目: 高功率激光与光学
• 页码范围: 825-829
• 页数: 5页
• 分类号: TN256
• 字数: 3255字
• 语种: 中文

摘要

给出了一种基于硅微加工技术的新型变形反射镜的设计和加工方法.变形反射镜镜面主体是由一定厚度的硅膜构成,硅膜上表面溅射有一层Ti/Au,背面有一7×7阵列的台柱与之相连,台柱下方是对应的驱动电极.当给电极施加电压时,产生的静电力就会拉动台柱向下运动,从而使相应的镜面部分发生变形;通过控制通电电极的位置及电压,就可获得特定的镜面形状.在变形反射镜的加工工序中采用浅腐蚀形成键合台,采用深腐蚀加工出台柱.并采用<110>条补偿图形对台柱的凸角进行补偿,在0.2MPa气压下进行键合,最后成功研制出有效反射面积为30mm×30mm,拥有49个静电驱动单元的变形反射镜.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈海清	华中科技大学光电子工程系	95	682	14.0	18.0
2	余洪斌	华中科技大学光电子工程系	23	160	8.0	11.0
3	竺子民	华中科技大学光电子工程系	9	85	7.0	9.0