TDR(L)-J50型光学炉的维护与常见故障分析

• 作者: 李留臣 董淑梅 赵秦延 高京慧
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 物理学
• 年，卷（期）: 2004,（3）
• 所属期刊栏目: 设备维护与保养
• 页码范围: 82-84
• 页数: 3页
• 分类号: O7
• 字数: 2014字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2004.03.023

摘要

本文介绍了TDR(L)-J50型光学晶体生长设备的结构原理、性能特点,重点介绍了其常见故障产生的原因及预处理方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵秦延		3	21	3.0	3.0
2	李留臣		25	153	8.0	11.0
3	董淑梅		6	37	5.0	6.0
4	高京慧		1	3	1.0	1.0