ZnO材料的生长及表征

• 作者: 小池一步 李树玮
• 来源期刊: 液晶与显示
• 学科: 工学
• 关键词: 氧化锌 分子束外延 光致发光 透射光谱
• 年，卷（期）: 2004,（3）
• 所属期刊栏目: 研究报告
• 页码范围: 178-181
• 页数: 4页
• 分类号: TN104.3|O484.4
• 字数: 2013字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-2780.2004.03.005

摘要

氧化锌材料是新一代宽禁带光电子半导体材料和场致发射材料,通过等离子体分子束外延设备,在a-plane的蓝宝石衬底上生长了高质量的氧化锌外延材料.在生长过程中用反射高能电子束衍射仪(RHEED),研究了生长时材料薄膜的表面形貌.为了使材料更好地应用于器件,研究了材料的掺杂性质.研究了给体束缚激子(Donor bound exciton (DX))、自由激子(Free exciton(EX))和受体束缚激子 (Acceptor bound exciton (AX))随温度变化的发光过程.用紫外-可见透射光谱研究了ZnO薄膜材料的透射光谱性质.结果表明,用分子束外延生长设备成功地生长了高质量的氧化锌薄膜材料.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李树玮	中山大学光电材料与技术国家重点实验室	8	39	3.0	6.0