磁悬浮进给机构的磁力耦合

• 作者: 何惠阳 宋文荣 宋晓东 郭凡林 陈阳
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 磁悬浮 进给机构 电涡流传感器 磁力耦合
• 年，卷（期）: 2004,（4）
• 所属期刊栏目: 现代光学仪器与精密机械
• 页码范围: 411-414
• 页数: 4页
• 分类号: TH133.3
• 字数: 1981字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2004.04.011

摘要

研究了磁悬浮进给机构在进给运动时的磁力耦合现象.进给机构的磁悬浮系统采用了具有自动归中作用的V型导轨结构,保证了机构进给运动的导向精度,可应用于光刻机等精密光机系统,且满足超净无尘及精密定位要求.通过分析机构磁悬浮系统中电磁铁的磁力分布,给出了耦合磁力的计算公式.分析结果表明:磁悬浮系统在其控制过程中存在着磁力耦合,具体表现为:如果进给运动时平台在水平方向发生偏移,那么左右两侧电磁铁的磁力在水平及水平垂直方向将产生相互耦合作用;而垂直方向的偏移不会引起磁力的耦合.在控制系统中引入补偿器后,可使系统解耦,因产生的耦合磁力很微小,可以忽略不记.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	宋文荣		13	285	10.0	13.0
3	何惠阳	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	21	469	12.0	21.0
6	宋晓东	吉林建筑工程学院基础科学系	15	50	4.0	6.0
7	陈阳		1	8	1.0	1.0
8	郭凡林		2	12	2.0	2.0